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PLD激光镀膜

企业:北京东方荣盛达科贸有限公司
价格:面议 / 台
更新:2014-02-27 09:19:39
产地:北京市 - 北京市 - 东城区
地址:北京市昌平区回龙观二拨子新村龙祥祥制版工业园区6号院

  • 产品详情
  • 公司介绍
结构
真空室结构:由主真空室、过渡真空室、磁控溅射室组成,每一真空室均
相对独立,真空室之间装有电气动高真空闸板阀。
主真空室:为激光镀膜提供超高真空环境,尺寸:Φ400×500;主真空室
(靶室)设计为圆柱形,内部设有基片安装架及基片辅助加热装置、靶材安装架;靶
室周边设置有激光入射窗口、观察窗口、抽真空法兰接口、真空测量接口、电极法兰
接口、离子束炉源接口及预留接口,接口法兰均采用ISO-CF高真空法兰标准,基片
加与靶架均可上下调节。
过渡真空室:主要是保证样品传递过程中不破坏超高真空靶室内的真空,
尺寸:Φ300×300,设计为圆柱形结构。内部设有样品交接过程中的过渡安装架,样
品架可升降可旋转。预留与手套箱联接法兰接口。
磁控溅射靶室:可安装多只磁控靶,并配有进气装置,方便为基片镀制多
层复合膜,尺寸:Φ200×300,设计为圆柱形。
样品及靶的传递与交接均通过磁力传递装置与机械手完成,均为外部操作。

可选配置:a 手套箱-用于装卸基片及靶材,并可存储相关备品。
b 激光控制器-可精度控制激光的扫描范围及形状。
c 装卸料室-用于在不破坏系统真空的情况下装取工件。

抽真空部分
激光靶室抽空采用二级真空泵,主泵选分子泵,型号FB-1300C,水平安装;
前级泵选双级旋片泵,型号为VD301,主抽阀选用CCQ-200电气动闸板阀。
过渡真空室主抽泵选用FB-600复合分子泵,垂直安装;前级泵选用ND201
机械泵,主阀选用CCQ-160电气动闸板阀。
磁控靶室主抽泵选用FB-600复合分子泵,垂直安装;前级泵选用ND201
机械泵,主阀选用CCQ-160电气动闸板阀管路抽高真空。

测量部分
激光靶室内超高真空测量选用金属规,低真空规安装在分子泵前级。真
空计:全量程真空计,型号:5201,测量范围:大气~10-8Pa。带控制输出,可实现
自动控制。
过渡室与进料室均选用ZDF-5227复合真空计,测量范围:大气~10-6Pa。
靶室极限真空度:<2×10-6Pa。系统连续烘烤48小时后测量。
靶室工作真空度:<5×10-6Pa。在不破坏靶室真空的情况下,达到工作真
空度的时间小于3小时。
靶室与过渡室从大气抽至5×10-3Pa≤20min(冷态下)
靶室内真空升压率(无工件时):不大于0.8Pa/h
基片温度由铠装热电偶测量,温度范围:常温~1500℃
激光靶室与磁控靶室内进气压力由电容式薄膜真空计测量。

控制部分
所有电源、仪表及控制电路均安装在一独立的电控柜内,并设有操作面板,
标识清楚,便于操作。
温控部分:加热装置温度由室温~800℃可控可调。温控仪选用EP93程序
控制仪,并配合可控硅调功模块,可实现线性控温。
控温精度:±2℃
温度均匀性:±5℃。
加热及控制方式:采用高温合金丝绕制于耐高温绝缘盘内进行加热,并设
置热屏蔽层,保证热量均匀辐射在基片上。
照明装置:靶室与过渡室内各设置一照明灯,便于观察室内情况。
操作面板上印制工作原理图,并配有工作指示灯,便于显示各部件的工作
情况,避免发生误操作。
开关按键、继电器等元器件均选用品牌产品,以保证控制系统的可靠性。
电路部分配置必须符合电工标准,采用强弱电分离,设置漏电保护开关,
并可靠接地。

机架部分
主体框架采用型钢焊制,表面喷塑处理。
机架可移动,可锁定。

北京东方荣盛达科贸有限公司主营电工仪器,其他仪器仪真空炉,脱脂炉,烧结炉,真空泵组,真空靶室PLD激光镀膜;

北京东方荣盛达科贸有限公司成立于2003年,业务范围涉及科研教学仪器、工业传感器等仪器设备的销售并承接技术开发及技术服务。
目前公司还代理各种真空标准配件或按用户需求订制非标准真空配件以及代理国内外知名品牌的真空获得设备、测量检测设备。真空标准配件包括:KF接口波纹管系列、KF系列连接、KF卡箍及中心支架系列、分子筛吸咐阱、CF内焊法兰、CF内焊松套法兰、盲法兰、无氧铜密封圈、真空阀门、真空计﹑表泵油及密封插座等。真空获得设备包括:分子泵、油封旋片机械泵、油扩散泵、罗茨泵、低温冷凝泵、无油干泵、离子泵、膜片泵、中高档真空泵机组。真空检测设备包括:单量程真空计、复合真空计、氦质谱检漏仪、四极质谱等。

公司自成立以来,始终坚持把发展祖国的真空事业为已任,孜孜不倦。在此过程中,公司不断招贤纳士,对真空应用进行了各方面的研究与开发,现已同许多电子航空航天等大中型企业、设计院、研究所、大中专院校建立了长期、密切的合作关系。

公司技术力量雄厚,注重信誉,讲究服务。在销售高科技产品的同时,为用户提供优秀的技术服务及支持。

我们的目标是与客户双赢共荣,做客户值得信赖的朋友!

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